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第一百七十六章：国产DUV光源

因为激光器安装运行需要的环境很苛刻，所以都是整合成为了一个部件。

而之前走南闯北，李由等人也将目前大夏主流的几个光刻机看了个遍，摸了个遍，早已是胸有成竹。

经历过人情冷暖的中年人可不像涉世未深的小年轻，不会轻易因为他人不理解产生的质疑而愤怒。

用产品打脸才是最让他们暗爽的事。

“既然贵司准备好了适配，我们实验室有这个型号的机器，就让我们拭目以待吧。”

赵兴夏接着又补了一句：“先签个合同，以免实验过程中出现意外，造成大家不必要的损失，没问题吧？”

“自无不可。”

顾青笑着答应了下来，他当然是理解对方的。

光刻机虽然没有某些跑车贵，但却比跑车难造，弄坏一台都是血亏。

他们半导体部门的队伍去其他厂家调整适配光源设备的时候都是交了一笔试验费用和保证金的。

甚至法务部都做了几份相关合同模板出来。

签了合同，赵兴夏才带着顾青一行人走到另一个研究室。

对于已经建好的光刻机工作间，每一次实验都是非常昂贵的。

穿上堪比防护服的白色工作服，李由等人带着数个光源设备部件进入了光刻机的超洁净工作间。

赵兴夏看着这几人很是熟练的打开光刻机系统，将光源设备更换后，又很熟练的分成两队。

李由这一队坐在一旁的电脑工作台上手指飞舞调整参数，张岩泰则带着自己这一队在光刻机的激光调整、能量控制器这些地方进行调整。

虽然光源设备是适配这个光刻机的，但是有很多小问题是需要处理的，不然别说芯片造不出来，光刻机损坏都是很正常的。

工作了大半天后，李由与张岩泰一起审查了一遍，这才对着房间内的摄像头比了个OK的手势。

“赵教授，实验就要开始了。”顾青提醒道。

赵兴夏点了点头。

不论是近紫外（NUV）激光还是深紫外（DUV）激光，又或者最高端的极紫外光EUV。

它们都有个紫字，并非是很深奥的问题，因为这几个光源都是名副其实的紫色光源。

九州科技半导体部门研发的稳态微聚束的SS1MB光源，为这个分辨率90nm的S1A600/20光刻机的适配光源设备是DUV深紫外光。

光源设备运行，激光器发射出来的深紫外光

经过矫正后，进入能量控制器、光束成型装置等设备，再进入光掩膜台。

光掩膜台上面放的测试用的光掩膜，之后经过物镜投射到曝光台。

曝光台上放置着一张8英寸晶圆片，上面涂抹了光刻胶。

半个小时后……当然芯片不是这么一点时间就可以做出来的，但是其工作状态和试运行成果却是能判断的。

“这，这，这……”

“这居然是

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